Hicube 真空泵组产品优点：
1. 涡轮分子泵和前级泵的**结合；适合多种应用需求
2. 模组化设计原则轻松满足客户多种应用需求
3. 各部件配合简便，易于保养维修
4. 集成的驱动系统，无需额外的控制系统
5. “随插即用”-无需布线和安装
6. 结构坚固，服务寿命长，**性高
7. 意外断电时，前级真空安**阀（可选.）可保护真空腔体免受返流影响
8. 可以直接连接真空计
Hicube 真空泵组应用领域：
1.研发 2. 加速器 3. 分析和表面物理学 4. 真空工艺 5. 电子束焊接 6. 检漏系统
Hicube 系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准：新系列的 HiPace 涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列**结合。我们为您提供新的 Classic 和 Pro 系列的 Hicube 真空泵组。真空泵组可选择干泵或旋片泵作为前级泵，**真空度可达 5 * 10-10 mbar。针对特别有限的空间要求，Hicube 真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的 Hicube Eco 经济型泵组，其抽速范围从 35 l/s 至 67 l/s。
Hicube 真空泵组产品规格：
真空泵组 Hicube Pro:
|
型号 |
连接法兰 |
抽速 l/s |
**真空mbar |
前级泵抽速 m3/h |
||||
|
入口 |
N2 |
Xtradry 150 |
Penta |
Xtradry 150 |
Penta 10 |
Penta 20 |
Penta 40 |
|
|
Hicube 80 |
40 |
35 |
〈1.10-7 |
〈1.10-7 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
|
Hicube 80 |
63 |
67 |
〈1.10-7 |
〈1.10-7 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
|
Hicube 80 |
63 |
67 |
〈5.10-10 |
〈5.10-10 |
7.5 |
11 |
22 |
34<, /TR> |
|
Hicube 300 |
100 |
260 |
〈1.10-7 |
〈1.10-7 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
|
Hicube 300 |
100 |
260 |
〈5.10-10 |
〈1.10-8 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
|
Hicube 400 |
100 |
355 |
〈1.10-7 |
〈1.10-8 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
|
Hicube 400 |
100 |
355 |
〈5.10-10 |
〈1.10-8 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
|
Hicube 700 |
160 |
685 |
〈1.10-7 |
〈1.10-7 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |
|
Hicube 700 |
160 |
685 |
〈5.10-10 |
〈1.10-8 |
7.5 |
11 |
22 |
34 |